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製造プロセス汚染評価

装置部材の選定を分析評価から支援します

部材の素材やその表面処理、プロセス材料の変更などで製造コスト削減を推進するには、それらの性能評価が有効です。住化分析センターでは変更前後の部材を用い、清浄度や物性などの比較評価が可能です。

特長

さまざまなデバイスの製造プロセス汚染、装置内外で生じたコンタミネーション(コンタミ)および異物を独自のサンプリング技術で採取し分析を行います。
お客様の問題に応じ、ウェーハ表面の金属汚染、分子状汚染物質(SMCs)の超高感度定量の他、装置部材(配管、セラミック、石英)の超高感度定量など、ご要望に応じた各種分析手法をご提案します。

分析項目

目的 操作 分析項目
部材素材の評価、部材表面処理の評価、プロセス材料の評価 溶出試験、加熱発生ガス、表面観察、表面分析、不純物分析 金属元素、無機イオン成分、粒子数、TOC、有機物、無機ガス、無機イオン成分、粒子数など

技術事例

お問い合わせ

分析・測定や商品、コンサルティングなどのサービスに関するお問い合わせやご依頼は、お問い合わせフォームまたは電話・FAXにてお気軽にお問い合わせださい。

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