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クリーンルームエアのケミカル汚染分析

電子デバイスの高精細化と歩留り向上

住化分析センターの提案するケミカル汚染分析は、クリーンルーム内のケミカルフィルタや材料の選定、問題プロセスの解析などの目的に応じて、適切な測定箇所選定し、最適な手法による分析結果に基づいて分子状汚染物質の低減対策に貢献します。

AMC'sの種類と分析手法

AMC's(Airbone molecular contaminants)はA、B、C、D、E の5種類に大別されます。

技術事例

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