バリアフィルムやシール部のガス透過度測定
有機デバイスの劣化は、水蒸気や酸素などが要因の一つと考えられています。劣化の原因と対策をするためには、デバイスを保護するバリアフィルムや、構造を封止・接着するシール部のガスバリア性を、高感度に評価することが重要です。水蒸気透過度は、10-6g/m2/day レベルで評価可能なAPl-MS 法をはじめISO15106に対応した手法で評価可能です。また、硫化水素や酢酸などの腐食性ガスの透過度測定も対応可能です。
分析項目
高感度評価からスクリーニング評価まで目的に応じた水蒸気透過度評価が可能です。独自のノウハウでシール部の透過度評価や硫化水素や酢酸などの腐食性ガスの透過度評価が可能です。
原理
試料を2つのセルで挟み込み片方に供給ガス、反対側のセルに超高純度ガスを通気させ、透過したガスの濃度を測定し、単位時間・単位面積あたりの透過量を透過度として評価します。
技術事例
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