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シリコン/ガラス基板の付着成分分析

シリコンやガラス基板の表面・表層の分子状汚染物質分析

クリーンルームや製造装置内雰囲気の清浄度管理には、気中分子状汚染物質(AMC's:Airborne Molecular Contaminants)の分析に加え、デバイス製造に与える影響について、基板表面に付着する表面分子状汚染物質(SMC's:Surface Molecular Contaminants)を分析することが重要です。

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