シリコンやガラス基板の表面・表層の分子状汚染物質分析

クリーンルームや製造装置内雰囲気の清浄度管理には、気中分子状汚染物質（AMC's：Airborne Molecular Contaminants）の分析に加え、デバイス製造に与える影響について、基板表面に付着する表面分子状汚染物質（SMC's：Surface Molecular Contaminants）を分析することが重要です。

分析項目

技術事例