化学品のTOF-SIMS分析
製品、生体表面に付着または存在する不純物質により、接着不良、表面の曇り、濡れ性の変化、変色、印刷不良などの問題が発生することがあります。このような症状が起こったときの原因究明方法として、TOF-SIMS分析は有効に活用できます。試料表面から出る分子イオン、フラグメントイオン、または原子イオンを測定しますので、金属はいうまでもなく、有機物の検出も可能です。
応用例
| サンプル | 分析事例 |
|---|---|
| 高分子、その他 | 樹脂表面ブリード物の定性、樹脂フィルム中フィッシュアイの分析、フィルム表面印刷不良原因調査、高機能紙中顔料分散剤の定性 |
| ウェーハチップ | レジスト・洗浄液・剥離液・研磨剤等の残渣有無確認、レジスト剥離原因調査、半田ヌレ性不良原因調査、テープ・ゴム・シート類からの転写物分析、変色原因調査、ボンディング強度不良原因調査、各種異物の定性 |
| リードフレーム | 変色原因調査、異物の定性 |
| 光学材料 | ステッパレンズ・ミラー表面くもり原因調査、光ファイバー表面異物分析 |
| LCD | 表示異常原因調査（シミ・ムラ・ハジキ） |
測定事例
例1：毛髪断面の測定
毛髪の断面を作成し、TOF-SIMSで分析する事で以下のような情報が得られました。
- リンス品は内部までシロキサンが浸透しています。
- ステアリルトリメチルアンモニウム（312+）は、表皮にのみ存在しています。
- 284+（ステアリン酸アミド？）は表皮に多いが、312+よりは厚みがあります。このような分析は、他の手法では不可能です。
例2：自動車塗膜の分析（添加剤）
TOF-SIMSの大きな特長の1つとして「有機フラグメントイオンが検出が可能です。 元素マッピングはEPMAでも可能ですが、この例のようにどのような有機成分である添加剤が含まれていて、 その分布状態を確認することができるのはTOF-SIMSだけです。
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