有機薄膜評価

有機薄膜の膜質評価

有機エレクトロニクス分野において重要な多層薄膜構造の評価を、最適な分析手法でサポートします。結晶性や配向性、膜厚、表面粗さ、界面状態など、デバイス性能に直結する特性を多角的に解析。先端技術を駆使し、試料の状態や目的に応じた最適な評価を実現します。

評価目的に応じて情報深さや分析範囲などから適切な測定手法を選択します。特に結晶性や配向性を評価する
手法は試料状態や測定範囲により適した手法を選択する必要があります。

項目＼手法	TEM	AFM	エリプソ	偏光ATR	ラマン	XRD	XRR	XAS	ESR
結晶性	○	△表面	-	-	○	◎	-	-	-
配向性	△	-	△	○	○	○	-	○	○
膜厚	◎	△段差	○	-	-	-	-	-	-
密度	-	-	-	-	-	-	○	-	-
表面粗さ	△	◎	△	-	-	-	-	-	-
界面状態	○	-	-	-	-	-	-	-	○
マッピング	○	○	○	○	-	-	-	-	-
多層膜	◎	-	○	◎	○	-	-	-	○