アウトガス分析評価

電子材料、装置部材、電子機器から発生するアウトガス成分を捕集し測定します。

電子デバイスに対し、さまざまなトラブル要因となる各種材料や設備からのアウトガス成分（脱ガス・出ガス・放散ガス）を捕集し、定性・定量します。ウェーハや製品の構成部材、電化製品などの試料に対して適したサンプリング方法を提案します。また真空（減圧）や高温加熱など特殊環境の試験も可能です。

セルに試料を導入し、清浄ガスを流しながら加熱します。発生するガスを捕集し分析します。

分析対象	目的	手法・測定装置
原材料 ex）真空グリース、接着剤、セラミックス	材料の比較や同定未反応物や劣化物調査アルデヒド類、VOC、SVOC評価	主な前処理法スタティックヘッドスペース（HS）法ダイナミックヘッドスペース（DHS）法パージアンドトラップ（P&T）法加熱脱着法ウェーハ加熱脱離（WTD）法熱抽出・分解（Py）法、UV照射法真空チャンバー加熱法主な測定機器ガスクロマトグラフ／質量分析計（GC/MS）発生ガス分析（EGA-MS）におい嗅ぎ（MPT）-GC/MS イオンクロマトグラフ（IC）誘導結合プラズマ質量分析計（ICP-MS）
成型品 ex）ウェーハ、電子部品、ケーブル	材料の比較や同定未反応物や劣化物調査におい原因調査揮発性有機化合物評価アルデヒド類、VOC、SVOC評価
製品 ex）プリンタ、家電製品、センサー	におい原因調査揮発性有機化合物評価

分析対象

目的

手法・測定装置

原材料
ex）真空グリース、接着剤、セラミックス

主な前処理法

主な測定機器

成型品
ex）ウェーハ、電子部品、ケーブル

製品
ex）プリンタ、家電製品、センサー

表セルタイプと提供試料例

セルタイプ	適用試料サイズ	温度	ガス種	用途
Tube	～φ20mm ～φ70mm	～800℃ ～330℃	N2、He、Air	素材
Tall Chamber	～φ120mm	～150℃	N2、He、Air	部品
Flat	φ100mm～	～150℃	N2、He、Air	シート、壁紙
Bag	～200L	～100℃	N2、Air	製品
Vacuum Chamber	～100mm Cube	～230℃	Vacuum（10-4Pa）	真空部材
Chamber	20L	R.T.	Air	建材モニター PC プリンター