表面分析・形態観察

微細構造観察、最表面分析

“微細”“微小”“極薄”という3つのキーワードに注目し、表面分析、形態観察を行っています。
球面収差補正機能搭載およびダブルEDS検出器搭載の最新鋭透過型電子顕微鏡など、最先端の設備で分析サービスを提供しています。

分析法／分析項目	不純物分析	深さ方向分析	化学状態分析	有機化合物同定	形態観察	絶縁物分析	非破壊分析	微小部分析	定量分析
二次イオン質量分析（SIMS）	◎	◎				△		○	○
飛行時間型二次イオン質量分析（TOF-SIMS）	○	○	△	○		○	△	○
X線光電子分光分析（XPS/ESCA）	△	◎	◎	△		○	◎	△	○
エネルギー分散型X線分析法（TEM-EDX）	△				◎	○		◎	○
電子エネルギー損失分光法（TEM-EELS）	△		○		◎	○		◎
エネルギー分散型X線分析法（SEM-EDX）	△				◎	○	○	◎
原子間力顕微鏡（AFM）					◎	○	◎	◎