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デバイス材料の評価(配線やウェーハの材料)

デバイス材料中の微量金属不純物定量

半導体デバイスに用いられる高純度なシリコン基板や石英基板中の微量金属不純物について高感度に定量します。
さらに電極材料、絶縁膜、磁性膜などの金属系薄膜やその原材料についても独自の前処理技術で微量金属不純物の高感度定量評価が可能です。

技術事例

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