有機デバイス製造プロセスの汚染評価

有機デバイスは蒸着や塗布プロセスで有機多層薄膜を成膜して作製されますが、成膜装置や作製条件の違いにより、素子性能が変化することがあります。成膜プロセスの汚染状況を評価・管理することは素子性能改善に有効です。
長年培った半導体製造環境の微量汚染評価技術をもとに、有機デバイスの製造プロセス（蒸着・塗布プロセスなど）に適した微量汚染評価サービスを提供いたします。

分析手順/解析事例

清浄な基板を準備し、対象プロセスに一定時間暴露し汚染物質をサンプリングします。その後基板に付着した成分を適した測定手法で定性、解析いたします。