電子デバイス製造に関連する材料やプロセス(材料・環境)は、歩留まり向上の為に粒子や不純物、アウトガスの抑制が求められています。住化分析センターでは、長年培ってきた高度な捕集技術・前処理技術を対象物に応じて組み合わせ、高感度定量・定性分析を行います。また、装置内外で生じたコンタミネーションや異物に関しても、独自のサンプリング技術で捕集し要因解析に臨みます。
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