電子デバイス製造に関連する材料やプロセス（材料・環境）は、歩留まり向上の為に粒子や不純物、アウトガスの抑制が求められています。住化分析センターでは、長年培ってきた高度な捕集技術・前処理技術を対象物に応じて組み合わせ、高感度定量・定性分析を行います。また、装置内外で生じたコンタミネーションや異物に関しても、独自のサンプリング技術で捕集し要因解析に臨みます。

分析メニュー

• プロセス材料の評価（薬液・ガス）
• デバイス材料の評価（配線やウェーハの材料）
• アウトガス分析評価
• ガラス・石英の分析評価
• コンタミネーション・異物解析
• 製造装置部材からの抽出物・溶出物評価

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