電子材料、装置部材、電子機器から発生するアウトガス（脱ガス・出ガス・放散ガス）成分を捕集し測定します。
電子デバイスに対し、さまざまなトラブル要因となる各種材料や設備からのアウトガス成分（脱ガス・出ガス・放散ガス）を捕集し、定性・定量します。ウェーハや製品の構成部材、電化製品などの試料に対して適したサンプリング方法を提案します。また真空（減圧）や高温加熱など特殊環境の試験も可能です。
分析項目
セルに試料を導入し、清浄ガスを流しながら加熱します。発生するガスを捕集し分析します。
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分析対象 |
目的 |
手法・測定装置 |
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原材料 |
・材料の比較や同定 |
主な前処理法 |
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・未反応物や劣化物調査 |
・スタティックヘッドスペース（HS）法 |
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・アルデヒド類、VOC、SVOC評価 |
・ダイナミックヘッドスペース（DHS）法 |
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－パージアンドトラップ（P&T）法 |
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－加熱脱着法 |
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－ウェーハ加熱脱離（WTD）法 |
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・熱抽出・分解（Py）法、UV照射法 |
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・真空チャンバー加熱法 |
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主な測定機器 |
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・ガスクロマトグラフ／質量分析計（GC/MS） |
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・発生ガス分析（EGA-MS） |
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・におい嗅ぎ（MPT）-GC/MS |
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成型品 |
・材料の比較や同定 |
・イオンクロマトグラフ（IC） |
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・未反応物や劣化物調査 |
・誘導結合プラズマ質量分析計（ICP-MS） |
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・におい原因調査 |
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・揮発性有機化合物評価 |
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・アルデヒド類、VOC、SVOC評価 |
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製品 |
・におい原因調査 |
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・揮発性有機化合物評価 |
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原理
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設計 |
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表 セルタイプと提供試料例 |
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セルタイプ |
適用試料サイズ |
温度 |
ガス種 |
用途 |
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Tube |
～φ20mm ～φ70mm |
～800℃ ～330℃ |
N2、He、Air |
素材 |
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Tall Chamber |
～φ120mm |
～150℃ |
N2、He、Air |
部品 |
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Flat |
φ100mm～ |
～150℃ |
N2、He、Air |
シート、壁紙 |
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Bag |
～200L |
～100℃ |
N2、Air |
製品 |
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Vacuum Chamber |
～100㎜ Cube |
～230℃ |
Vacuum（10-4Ｐａ） |
真空部材 |
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Chamber |
20L |
R.T. |
Air |
建材 |
アウトガス_採取吸着図
分析対象成分と測定手法の対応図
技術事例
関連情報