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アウトガス分析評価

電子材料、装置部材、大型機器から発生するアウトガス(脱ガス・出ガス・放散ガス)成分を捕集し測定します。

電子デバイスに対し、さまざまなトラブル要因となる各種材料や設備からのアウトガス成分(脱ガス・出ガス・放散ガス)を捕集し、定性・定量します。ウェーハや製品の構成部材、プリンターなどの大型試料まで、適したサンプリング方法を提案します。また真空(減圧)や高温加熱など特殊環境の試験も可能です。

分析項目

セルに試料を導入し、清浄ガスを流しながら加熱します。発生するガスを捕集し分析します。

分析対象

目的

手法・測定装置

原材料

ex) 真空グリース
接着剤
  セラミックス

・材料の比較や同定

主な前処理法

・未反応物や劣化物調査

・スタティックヘッドスペース(HS)法

・アルデヒド類、VOCSVOC評価

・ダイナミックヘッドスペース(DHS)法

 

 -パージアンドトラップ(P&T)法

 

 -加熱脱着法

 

 -ウェーハ加熱脱離(WTD)法

 

・熱抽出・分解(Py)法、UV照射法

 

・真空チャンバー加熱法

 

 

 

主な測定機器

 

・ガスクロマトグラフ/質量分析計(GC/MS

 

・発生ガス分析(EGA-MS

 

・におい嗅ぎ(MPT-GC/MS

成型品

ex) ウェーハ
   電子部品
  ケーブル

・材料の比較や同定

・イオンクロマトグラフ(IC

・未反応物や劣化物調査

・誘導結合プラズマ質量分析計(ICP-MS

・におい原因調査

 

・揮発性有機化合物評価

申請試験

・アルデヒド類、VOCSVOC評価

BABlue Angel)申請試験

製品

ex) プリンタ
   家電製品
  センサー

・におい原因調査

・エコマーク取得申請用試験対応

・揮発性有機化合物評価

  ・EPEAT申請用試験
   
Electronic Products Environmental Assessment Tools

BA申請

・エコマーク申請

 

原理

設計

       

表 セルタイプと提供試料例

セルタイプ

適用試料サイズ

温度

ガス種

用途

Tube

φ20mm

800

N2HeAir

素材

φ70mm

330

Tall Chamber

φ120mm

150

N2HeAir

部品

Flat

φ100mm

150

N2HeAir 

シート、壁紙

Bag

200L

100

N2Air

製品

Vacuum Chamber

100㎜ Cube

230

Vacuum10-4Pa)

真空部材

Chamber

20L

R.T.

Air

建材

2000L

モニター

20000L

PC

 

プリンター

アウトガス_採取吸着図 アウトガス_採取吸着図
分析対象成分と測定手法の対応図 分析対象成分と測定手法の対応図

技術事例

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