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アウトガス分析評価

電子材料、装置部材、大型機器の発生ガスを総合的に分析

電子デバイスに対し、さまざまなトラブル要因となる各種材料や設備からのアウトガスを分析します。ウェーハの片面サンプリングや、製品の構成部材、プリンターなどの大型試料まで、試料に合わせたサンプリング方法をご提案いたします。また減圧環境や高温加熱など特殊環境の試験も可能です。

分析項目

セルに試料を導入し、清浄ガスを流しながら加熱します。発生するガスを捕集し分析します。

分析対象 目的 手法・測定装置
原材料
  • 材料の比較や同定
  • 未反応物や劣化物調査
  • アルデヒド類、VOC、SVOC評価

主な前処理法

  • ダイナミックヘッドスペース(DHS)法
  • (パージアンドトラップ(P&T)法、加熱脱着法)
  • スタティックヘッドスペース(HS)法
  • 熱分解(Py)法
  • UV照射

主な測定機器

  • ガスクロマトグラフ/質量分析計(GC/MS)
  • 発生ガス分析(EGA-MS)
  • におい嗅ぎ(MPT)-GC/MS
  • イオンクロマトグラフ(IC)
  • 誘導結合プラズマ質量分析計(ICP-MS)

申請試験

  • BAM申請試験
  • エコマーク取得申請用試験対応
成型品
(部品・部材)
  • 材料の比較や同定
  • 未反応物や劣化物調査
  • 匂い原因調査
  • 揮発性有機化合物評価
  • アルデヒド類、VOC、SVOC評価
製品
  • におい原因調査
  • 揮発性有機化合物評価
  • BAM申請
  • エコマーク申請

原理

分析対象成分と測定手法の対応図 分析対象成分と測定手法の対応図
アウトガス_採取吸着図 アウトガス_採取吸着図

技術事例

お問い合わせ

分析・測定や商品、コンサルティングなどのサービスに関するお問い合わせやご依頼は、お問い合わせフォームまたは電話・FAXにてお気軽にお問い合わせださい。

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