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表面分析・形態観察

微細構造観察、最表面分析

“微細” “微小” “極薄”という3つのキーワードに注目し、表面分析、形態観察を行っています。
球面収差補正機能搭載およびダブルEDS検出器搭載の最新鋭透過型電子顕微鏡や、試料最表面の深さ方向結合状態分析が可能な同時角度分解X線光電子分光分析(AR-XPS)など、最先端の設備で分析サービスを提供しています。

分析項目

分析法/分析項目 不純物分析 深さ方向分析 化学状態分析 有機化合物同定 形態観察 絶縁物分析 非破壊分析 微小部分析 定量分析
二次イオン質量分析
(SIMS)
       
飛行時間型二次イオン質量分析
(TOF-SIMS)
   
X線光電子分光分析
(XPS/ESCA)
 
オージェ電子分光分析
(AES)
 
エネルギー分散型X線分析法
(TEM-EDX)
       
電子エネルギー損失分光法
(TEM-EELS)
       
エネルギー分散型X線分析法
(SEM-EDX)
       
原子間力顕微鏡
(AFM)
         

技術事例

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