微細構造観察、最表面分析
“微細” “微小” “極薄”という3つのキーワードに注目し、表面分析、形態観察を行っています。
球面収差補正機能搭載およびダブルEDS検出器搭載の最新鋭透過型電子顕微鏡や、試料最表面の深さ方向結合状態分析が可能な同時角度分解X線光電子分光分析（AR-XPS）など、最先端の設備で分析サービスを提供しています。
分析項目
| 分析法/分析項目 | 不純物分析 | 深さ方向分析 | 化学状態分析 | 有機化合物同定 | 形態観察 | 絶縁物分析 | 非破壊分析 | 微小部分析 | 定量分析 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 二次イオン質量分析 （SIMS） |
◎ | ◎ | △ | ○ | ○ | ||||
| 飛行時間型二次イオン質量分析 （TOF-SIMS） |
○ | ○ | △ | ○ | ○ | △ | ○ | ||
| X線光電子分光分析 （XPS/ESCA） |
△ | ◎ | ◎ | △ | ○ | ◎ | △ | ○ | |
| オージェ電子分光分析 （AES） |
△ | ◎ | △ | ○ | △ | ○ | ◎ | ○ | |
| エネルギー分散型X線分析法 （TEM-EDX） |
△ | ◎ | ○ | ◎ | ○ | ||||
| 電子エネルギー損失分光法 （TEM-EELS） |
△ | ○ | ◎ | ○ | ◎ | ||||
| エネルギー分散型X線分析法 （SEM-EDX） |
△ | ◎ | ○ | ○ | ◎ | ||||
| 原子間力顕微鏡 （AFM） |
◎ | ○ | ◎ | ◎ |
技術事例
関連情報