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高純度ガスの清浄度評価

固体捕集アクティブサンプラーによるケミカル汚染評価

新開発の固体捕集アクティブサンプラー「BremS®」は、プロセス用の高純度ガス中の塩基成分または酸性成分を捕集することが出来ます。

特長

固体捕集アクティブサンプラー「BremS®」の特長

  • (1)コンパクトで液体を用いないため現場の作業が容易です
  • (2)輸送時の制約が少なく、海外輸送に適しています
  • (3)溶液捕集法(インピンジャー法)と相関があります
  • (4)高効率な前処理法を組み合わせることにより、短時間サンプリングで高感度な定量が出来ます。

分析項目

技術事例

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