ケミカルフィルタの脱ガス分析及びAMC除去効率評価

ケミカルフィルタは、気中分子状汚染物質(Airbone Molecular Contaminants)の管理を必要とする外調機やクリーンルーム、装置内などで幅広く利用されています。ケミカルフィルタからのアウトガスを分析することで、その性能が十分であるか、性能が維持されているかを評価することができます。

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