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化学品のTOF-SIMS分析

製品、生体表面に付着または存在する不純物質により、接着不良、表面の曇り、濡れ性の変化、変色、印刷不良などの問題が発生することがあります。このような症状が起こったときの原因究明方法として、TOF-SIMS分析は有効に活用できます。試料表面から出る分子イオン、フラグメントイオン、または原子イオンを測定しますので、金属はいうまでもなく、有機物の検出も可能です。

応用例

サンプル 分析事例
高分子、その他 樹脂表面ブリード物の定性、樹脂フィルム中フィッシュアイの分析、フィルム表面印刷不良原因調査、高機能紙中顔料分散剤の定性
ウェーハチップ レジスト・洗浄液・剥離液・研磨剤等の残渣有無確認、レジスト剥離原因調査、半田ヌレ性不良原因調査、テープ・ゴム・シート類からの転写物分析、変色原因調査、ボンディング強度不良原因調査、各種異物の定性
リードフレーム 変色原因調査、異物の定性
光学材料 ステッパレンズ・ミラー表面くもり原因調査、光ファイバー表面異物分析
LCD 表示異常原因調査(シミ・ムラ・ハジキ)

測定事例

例1:毛髪断面の測定

毛髪の断面を作成し、TOF-SIMSで分析する事で以下のような情報が得られました。

  • リンス品は内部までシロキサンが浸透しています。
  • ステアリルトリメチルアンモニウム(312+)は、表皮にのみ存在しています。
  • 284+(ステアリン酸アミド?)は表皮に多いが、312+よりは厚みがあります。このような分析は、他の手法では不可能です。
図1:毛髪断面のTOF-SIMS分析結果 図1:毛髪断面のTOF-SIMS分析結果

例2:自動車塗膜の分析(添加剤)

TOF-SIMSの大きな特長の1つとして「有機フラグメントイオンが検出が可能です。 元素マッピングはEPMAでも可能ですが、この例のようにどのような有機成分である添加剤が含まれていて、 その分布状態を確認することができるのはTOF-SIMSだけです。

図2:自動車塗膜のTOF-SIMS分析結果 図2:自動車塗膜のTOF-SIMS分析結果

技術事例

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