有機薄膜の膜質評価
有機デバイスでは、多層薄膜が利用されており、その薄膜の構造や状態によりデパイス特性が変化すると考えられています。特に膜の結晶性や配向性などがキャリア輸送特性に大きな影響を与えると考えられており、これらの薄膜構造を解析するには、試料状態や目的に応じた解析手法の選択が重要です。
分析項目
評価目的に応じて情報深さや分析範囲などから適切な測定手法を選択します。特に結晶性や配向性を評価する
手法は試料状態や測定範囲により適した手法を選択する必要があります。
| 項目＼手法 | TEM | AFM | エリプソ | 偏光ATR | ラマン | XRD | XRR | XAS | ESR |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 結晶性 | ○ | △表面 | － | － | ○ | ◎ | － | － | － |
| 配向性 | △ | － | △ | ○ | ○ | ○ | － | ○ | ○ |
| 膜厚 | ◎ | △段差 | ○ | － | － | － | － | － | － |
| 密度 | － | － | － | － | － | － | ○ | － | － |
| 表面粗さ | △ | ◎ | △ | － | － | － | － | － | － |
| 界面状態 | ○ | － | － | － | － | － | － | － | ○ |
| マッピング | ○ | ○ | ○ | ○ | － | － | － | － | － |
| 多層膜 | ◎ | － | ○ | ◎ | ○ | － | － | － | ○ |
- TEM 透過型電子顕微鏡
- ATR 全反射赤外分光法
- XRR X線反射率法
- ESR 電子スピン共鳴法
- AFM 原子間力顕微鏡
- XRD X線回折法
- XAS X線吸収分光法