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コンタミネーション分析

超高感度微量分析を提供

さまざまなデバイスの製造プロセスや装置内外で生じた有機物、無機イオン、金属元素、粒子などのコンタミネーションやウェーハ表面の分子状汚染物質(SMCs: Surface Molecular Contaminants)について、独自に設計したケミカルコンタミフリークリーンルームにて、前処理を行う事で超高感度な分析を提供します。

分析項目

分析対象 目的・評価項目 手法・測定装置
ウェーハ表面・表層 超微量金属成分 定性・定量 ICP/MS、ICP/AES、GF-AAS、SIMS
超微量イオン成分 定性・定量 IC、ICP-MS、IC/TOF-MS、CE、
CE-MS、CE/TOF-MS
超微量有機成分 定性・定量 WTD-GC/MS、GC-MS
ウェーハ局所部位(スポット,エッジ,ベベル部) 超微量金属成分 定性・定量 ICP/MS、 ICP/AES、GF-AAS
超微量イオン成分 定性・定量 IC、IC/MS、IC/TOF-MS、CE、
CE-MS、CE/TOF-MS
定性解析 TOF-SIMS、AES、XPS、
顕微FT-IR、EPMA、SEM-EDX、
TDS、レーザーラマン

技術事例

お問い合わせ

分析・測定や商品、コンサルティングなどのサービスに関するお問い合わせやご依頼は、お問い合わせフォームまたは電話・FAXにてお気軽にお問い合わせださい。

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