電子材料、金属、セラミックス、触媒、物質などの表面、界面状態を分析します。また、物質の表面や界面に付着する異物分析の解明に役立ちます。
※二次イオン質量分析装置（SIMS）、飛行時間型二次イオン質量分析装置（TOF-SIMS）、X線光電子分光分析装置（XPSまたはESCA）、走査型オージェ電子分光分析装置（AES/SAM）、電子線マイクロアナライザ（EPMAまたはXMA）、電解放射型走査電子顕微鏡－X線分析装置（FE-SEM-EDX）、昇温脱離ガス質量分析（TDS）、低レベルのα線測定装置、その他
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