有機半導体材料を用いた電子デバイスの製造プロセス温度は室温近傍であり、プラスチックや紙などを基板とした軽量でフレキシブルな電子デバイスの作製に適しています。
有機半導体及び有機材料の最新技術をご紹介いたします。
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デバイス、欠陥解析
NEW有機デバイスの総合解析
有機ELデバイスは、 多くの材料で構成されています。 その物理構造や構成材料および欠陥を解析する ためには、 その目的に応じて加工箇所の決定や複数の手法を組み合わせることが必要です。
有機EL照明の構造解析
有機EL照明等の多層構造の断面観察にはLAADF-STEM像（低角度散乱暗視野STEM法）を用いた断面観察が有効です。さらに高感度元素分析を組み合わせることで薄膜組成解析が可能です。
ガラス/ＩＴＯ膜の微小欠陥解析
共焦点レーザー顕微鏡は石英ウェーハやＩＴＯ膜などの透明材料の欠陥や異物を検出し、観察することができます。この高精度なマーキング技術とSTEM-EDS分析を組み合わせることで、より詳細な欠陥解析が可能です。
プロセス汚染、不純物評価
蒸着プロセスの金属汚染
デバイスの初期特性や寿命に影響する薄膜中の不純物は、材料だけでなく、製造環境や装置内雰囲気などから入り込みます。成膜プロセスの汚染状況を把握し制御することは性能向上や歩留まり改善にとって重要です。
塗布プロセスの残留溶媒
塗布プロセスにおける乾燥処理条件の最適化に、TG-MSによる熱脱離挙動の確認や、ダイナミックヘッドスペース（DHS)-GC-MSによる熱脱離量の高感度定量、及び残留成分の定性が有効です。
有機材料中の微量金属汚染評価
有機エレクトロニクス材料は貴重なため、材料選定や開発の段階で分析に使用する試料量は少ないことが望まれます。新規に開発した手法で極少量で微量金属の定量が可能です。
材料、薄膜評価
有機薄膜の分子配向性評価
有機半導体材料であるペンタセンは、下地の基板により異方性を持つ薄膜を形成します。化学ドープESRを用いた薄膜構造解析により、ペンタセン薄膜の異方性評価が可能です。
リン光材料の発光ドーパント分布
有機ＥＬデバイスの発光材料に含まれるドーパント量は、発行強度や色合い等に影響します。膜全体のドーパント分布評価にMALDI-TOF/MSのマッピング評価が有効です。
高感度水蒸気透過度測定
高性能バリアフィルムに要求される防湿性について、10⁻⁶g/m²/dayレベルのの水蒸気透過度をISO15106-06に対応したAPI-MSようも用いて高感度・高精度に評価することが可能です。
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