半導体プロセス用高純度薬品の超微量不純物分析

半導体製造に欠かせないクリーンルーム等の清浄環境で利用される高純度薬液中の微量不純物を評価するには適した前処理方法や測定手法を選択する必要があります。
長年の経験とノウハウから独自に設計した各種ケミカルコンタミフリークリーンルームや前処理・測定手法を組合わせることで超純水、酸・アルカリ性溶液、有機溶剤中の微量不純物を高感度に評価可能です。

技術事例