パワー半導体、パワーモジュールに関する不純物分析技術や酸化膜界面評価技術に加え、超音波顕微鏡やモジュール開封技術を用いたパワーモジュールの故障解析の事例についてご紹介いたします。
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SiCエピ膜の不純物分析
SiC基板およびエピ膜の不純物分析
さまざまな前処理法を適応することにより、SiC基板やエピ膜からデバイスに至るすべての工程において、ICP-MSで金属不純物の管理をすることが可能となります。


SiCエピ膜の応力・結晶性・キャリア濃度評価


SiO2/SiC界面の評価


電子部品の故障解析



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