表面分析・形態観察

“微細”　“微小”　“極薄”という3つのキーワードに注目し、表面分析、形態観察を行っています。ますます厳しくなる評価ニーズにお応えするため、受託機関唯一の球面収差補正機能搭載の透過型電子顕微鏡（Titan80-300）や、試料最表面の深さ方向結合状態分析が可能な同時角度分解X線光電子分光分析（AR-XPS）など、最先端の設備で分析サービスを提供しています。

主な分析項目

分析法		不純物分析	深さ方向分析	化学状態分析	有機化合物同定	形態観察	絶縁物分析	非破壊分析	微小部分析	定量分析
二次イオン質量分析（SIMS）
飛行時間型二次イオン質量分析（TOF-SIMS）
X線光電子分光分析（XPS/ESCA）
オージェ電子分光分析（AES）
電子顕微鏡観察
透過型	エネルギー分散型X線分析法（TEM-EDX）
透過型	電子エネルギー損失分光法（TEM-EELS）
走査型	エネルギー分散型X線分析法（SEM-EDX）
原子間力顕微鏡（AFM）

各種分析法の分析領域（検出感度との関係）

ご依頼、分析の流れ

御一報ください（WEB/TEL/MAIL）→お伺いいたします（MEET/TEL/MAIL）→見積書提出→サンプル受領[受入検査/外観観察]→前処理[測定可能な状態への試料加工など]→観察・定性・定量[各種測定]→解析→速報→報告

装置・原理	評価項目
SIMS （2次イオン質量分析法）	ドーパントの深さ方向分析、定量。膜中不純物分析。
TOF-SIMS （飛行時間型2次イオン質量分析法）	試料表面有機汚染、無機汚染の定性。ケミカルイメージング/マッピング。 3D深さ方向分析。
XPS/ESCA （X線光電子分光分析法）	元素定性。組成分析。結合状態調査。深さ方向分析。極表面非破壊深さ方向分析。
AES （オージェ電子分光分析法）	微小部の元素定性分析。深さ方向分析。元素イメージング/マッピング。
EPMA （電子線微小部分析法）	微小部の元素定性分析。元素イメージング/マッピング。
FT-IR（ATR）（フーリエ変換赤外分光法（高感度反射法））	有機化合物同定。官能基評価。
RSS （レーザーラマン分光法）	官能基評価。微小部の結晶性評価。
エリプソメトリー	膜厚評価。
（S）TEM-EDX,EELS （（走査型）透過電子顕微鏡-エネルギー分散型X線分析法、エネルギー損失電子分光法）	試料断面構造観察、元素分析。元素イメージング/マッピング。結晶構造評価。
SEM-EDX （走査型電子顕微鏡-エネルギー分散型X線分析法）	試料表面形態・断面構造観察、元素分析
AFM （原子間力顕微鏡）	試料表面凹凸評価、数値化。

分析技術事例（Technical News）

タイトル	整理番号
CP加工－FE-EPMAによる燃料電池用MEA断面の観察	TN310
収差補正電子顕微鏡を用いた高分解能観察	TN306
低加速電圧観察による材料評価への有効性	TN305
収差補正電子顕微鏡を用いた材料評価	TN304
Li イオン二次電池（Liイオン二次電池用セパレータのSEM観察）	TN296
Li イオン二次電池（CP加工－FE-EPMAによる電極断面の観察）	TN294
Li イオン二次電池（CP加工－FE-SEMによる電極断面の観察）	TN293
TOF-SIMSによる広領域マッピング	TN288
FIB-AESによるLSIチップの断面分析	TN287
オージェ電子分光法によるSUSの深さ方向分析	TN286
オージェ電子分光法	TN284
SIMSによる低ドーズ量イオン注入の高精度評価	TN186
極薄酸窒化ゲート絶縁膜の評価	TN184
BacksideSIMSの技術紹介	TN180
TOF-SIMSによるCu-CMP後洗浄したウェーハ表面評価	TN165
XPSによるCu-CMP後洗浄したウェーハ表面評価	TN148
飛行時間型二次イオン質量分析法（TOF-SIMS）	TN060
原子間力顕微鏡（AFM）のご紹介	TN053
XPSによる酸化膜厚の測定	TN033
レーザーラマン分光法による分析	TN024
FT-IR法の赤外全反射吸収スペクトル法による構造解析	TN022
FT-IR法の反射法による表面構造解析	TN020