表面分析・形態観察

“微細” “微小” “極薄”という3つのキーワードに注目し、表面分析、形態観察を行っています。ますます厳しくなる評価ニーズにお応えするため、受託機関唯一の球面収差補正機能搭載の透過型電子顕微鏡(Titan80-300)や、試料最表面の深さ方向結合状態分析が可能な同時角度分解X線光電子分光分析(AR-XPS)など、最先端の設備で分析サービスを提供しています。

主な分析項目

分析法 不純物分析 深さ方向分析 化学状態分析 有機化合物同定 形態観察 絶縁物分析 非破壊分析 微小部分析 定量分析
二次イオン質量分析(SIMS)        
飛行時間型二次イオン質量分析(TOF-SIMS)    
X線光電子分光分析(XPS/ESCA)  
オージェ電子分光分析(AES)  
電子顕微鏡観察
透過型 エネルギー分散型X線分析法(TEM-EDX)        
電子エネルギー損失分光法(TEM-EELS)        
走査型 エネルギー分散型X線分析法(SEM-EDX)        
原子間力顕微鏡(AFM)          

各種分析法の分析領域(検出感度との関係)

ご依頼、分析の流れ

御一報ください(WEB/TEL/MAIL)→お伺いいたします(MEET/TEL/MAIL)→見積書提出→サンプル受領[受入検査/外観観察]→前処理[測定可能な状態への試料加工など]→観察・定性・定量[各種測定]→解析→速報→報告

手法・測定装置 評価項目
SIMS (2次イオン質量分析法) ドーパントの深さ方向分析、定量。
膜中不純物分析。
TOF-SIMS (飛行時間型2次イオン質量分析法) 試料表面有機汚染、無機汚染の定性。
ケミカルイメージング/マッピング。
3D深さ方向分析。
XPS/ESCA (X線光電子分光分析法) 元素定性。組成分析。結合状態調査。
深さ方向分析。極表面非破壊深さ方向分析。
AES (オージェ電子分光分析法) 微小部の元素定性分析。深さ方向分析。
元素イメージング/マッピング。
EPMA (電子線微小部分析法) 微小部の元素定性分析。
元素イメージング/マッピング。
FT-IR(ATR) (フーリエ変換赤外分光法(高感度反射法)) 有機化合物同定。官能基評価。
RSS (レーザーラマン分光法) 官能基評価。微小部の結晶性評価。
エリプソメトリー 膜厚評価。
(S)TEM-EDX,EELS ((走査型)透過電子顕微鏡-エネルギー分散型X線分析法、エネルギー損失電子分光法) 試料断面構造観察、元素分析。
元素イメージング/マッピング。結晶構造評価。
SEM-EDX (走査型電子顕微鏡-エネルギー分散型X線分析法) 試料表面形態・断面構造観察、元素分析
AFM (原子間力顕微鏡) 試料表面凹凸評価、数値化。

分析技術事例(Technical News)

タイトル 整理番号
CP加工-FE-EPMAによる燃料電池用MEA断面の観察 TN310
収差補正電子顕微鏡を用いた高分解能観察 TN306
低加速電圧観察による材料評価への有効性 TN305
収差補正電子顕微鏡を用いた材料評価 TN304
Li イオン二次電池(CP加工-FE-EPMAによる電極断面の観察) TN294
Li イオン二次電池(CP加工-FE-SEMによる電極断面の観察) TN293
TOF-SIMSによる広領域マッピング TN288
FIB-AESによるLSIチップの断面分析 TN287
オージェ電子分光法によるSUSの深さ方向分析 TN286
オージェ電子分光法 TN284
SIMSによる低ドーズ量イオン注入の高精度評価 TN186
極薄酸窒化ゲート絶縁膜の評価 TN184
BacksideSIMSの技術紹介 TN180
TOF-SIMSによるCu-CMP後洗浄したウェーハ表面評価 TN165
XPSによるCu-CMP後洗浄したウェーハ表面評価 TN148
飛行時間型二次イオン質量分析法(TOF-SIMS) TN060
原子間力顕微鏡(AFM)のご紹介 TN053
XPSによる酸化膜厚の測定 TN033
FT-IR法の赤外全反射吸収スペクトル法による構造解析 TN022
FT-IR法の反射法による表面構造解析 TN020

	Get Adobe® Reader®

PDFファイルの閲覧には、Adobe® Reader®が必要です。

Webからのお問い合わせ

お問い合わせフォーム

  • お電話でのお問い合わせ

    03-5689-1219

  • FAXでのお問い合わせ

    03-5689-1222

このページの先頭へ