高感度元素分析システムを搭載した収差補正分析電子顕微鏡の導入

1.概要


収差補正分析電子顕微鏡 JEM-ARM200F

近年、先端材料開発では材料の構造・組成の制御が原子レベルにまで達しており、高分解能分析電子顕微鏡は不可欠な分析ツールとなっております。
この度当社では、高感度元素分析システムを搭載した収差補正分析電子顕微鏡を導入しました。このことにより、高い空間分解能での元素分析だけでなく高感度を活かした高速・低ダメージでの元素分析が可能となります。

2.特徴

(1)高感度・高精度組成分析が可能

高感度元素分析システムにより、高速・低ダメージでの元素分析が可能となります。

(2)高分解能STEM像観察が可能

冷陰極電界放出電子銃(Cold-FEG)に球面収差補正装置を組み合わせることで良質な高分解能STEM像観察が可能となります。

(3)評価目的に応じた多彩な特殊観察が可能

環境制御、冷却、3次元観察等の専用ホルダーを準備し、多彩な特殊観察/分析が可能となります。


化合物半導体の原子レベル組成分析

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