分析技術事例(Technical News)

電子関連

電子関連の分析事例をPDFファイルでご紹介します。

クリーンルームエア評価

タイトル 整理番号
固体サンプラーBremS®による気中の酸・塩基性成分の評価 Evaluation of acidic and basic contaminants using solid active sampler BremS® TN438
圧縮空気の清浄度評価(JIS B 8392対応) Impurity Analysis of Compressed Air TN437
製薬機器の粒子封じ込め(コンテインメント)性能評価 Assessing the Particulate Containment Performance of Pharmaceutical Equipment TN357
ミニエンバイロメントの評価技術 -ウェーハ付着有機物(FOSBの開閉及び保管試験)- TN203
クリーンルーム空気中の全りん(P)定量 Determination of total phosphorus in clean room air TN200
クリーンルーム構成材料から発生するアミン類のCE/MS分析 Evaluation of amines emitted from clean room constituent materials by CE/MS TN178
温室効果(地球温暖化)ガスの測定 TN111
半導体材料のアウトガス分析 Analysis of outgas released from LSI materials TN095
純水中の微量アニオン・カチオン分析 Analysis of Trace Ions in Pure Water TN087
クリーンルーム空気中の清浄度評価 Cleanliness evaluation of environmental air in clean room for semiconductor production process TN063
飛行時間型二次イオン質量分析法(TOF-SIMS) Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry (TOF-SIMS) TN060
クリーンルーム空気中の微量物質の分析 Evaluation Methods for Trace Impurities in Clean Room Air TN045

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電子デバイス評価

タイトル 整理番号
大気圧イオン化質量分析計を用いた加熱脱離ガス分析(TDS-API-MS) Ultratrace Thermal Desorption Gas Analysis by Atmospheric Pressure Ionization-Mass Spectrometry (API-MS) TN448
クライオ(冷却)Arイオンミリング法によるセパレータ断面のSEM観察 Cross-sectional SEM Observation of Separator Using Cryo-Ar Ion Milling Technique TN432
真空環境下で発生する部材からのアウトガス評価 Evaluation of outgassing contaminant under vacuum condition TN430
同時角度分解光電子分光分析法(PAR-XPS) Parallel Angle Resolved X-ray Photoelectron Spectroscopy (PAR-XPS) TN414
同時角度分解光電子分光分析法による薄膜の評価 Evaluation of Thin Film by Parallel Angle Resolved X-ray Photoelectron Spectroscopy TN413
φ450mmシリコンウェーハ表面の金属不純物分析 Chemical Analysis of Trace Metal Contamination on φ450 mm Silicon Wafer Surface New
TN410
TOF-SIMSによる3次元分析 Three-dimensional analysis by TOF-SIMS TN339
シリコンウェーハ局所部位中の金属不純物分析 Analysis of Metallic Impurities in Limited Area of Silicon Wafer TN335
石英ガラス部材中の金属不純物分析法 Chemical Analysis of Metallic Impurities in Fused Silica Materials TN334
水平型基板検査装置を用いたウェーハエッジ・ベベル部の分析 Wafer Edge and Bevel Area Analysis Using the Horizontal Substrate Inspection Device TN333
大型放射光施設を利用した各種分析試験 Various analysis examinations using the large synchrotron radiation facilyty TN312
燃料電池用・炭化水素系高分子電解質膜の劣化解析 Analysis of Deterioration of Hydrocarbon Polymer Electrolyte Film TN311
CP加工-FE-EPMAによる燃料電池用MEA断面の観察 Observation of the cross section of MEA for fuel cells by FE-EPMA TN310
X線マイクロCTによる燃料電池用MEAの層構造観察 Observation of the cross section of MEA for fuel cells by X-ray CT TN309
燃料電池の分析法概要 Outline of analysis methods for fuel cells TN308
収差補正電子顕微鏡を用いた高分解能観察 High Resolution Observation by Use of the Electron Microscope with Cs-corrector TN306
収差補正電子顕微鏡を用いた材料評価 Materials Evaluation by Use of the Electron Microscope with Cs-corrector TN304
Li イオン二次電池(熱分析による負極活物質の同定) Thermal analysis of the anode material for Li-ion batteries TN303
Li イオン二次電池(熱分析(DSC)によるセパレータの定性分析) Thermal analysis of the separator film for Li-ion batteries TN302
Liイオン二次電池(ICP-AESおよびICP-MSによる負極合剤の分析) Analysis of the anode material for Li-ion batteries by ICP-AES and ICP-MS TN301
Li イオン二次電池(ICP/AESによる正極活物質の組成分析) Composition analysis of the cathode material for Li-ion batteries by ICP/AES TN300
Li イオン二次電池(電解液用溶媒の組成分析) Composition analysis of the electrolyte solution for Li-ion batteries TN299
Li イオン二次電池(電極バインダ樹脂の分析) Composition analysis of the binder resin in electrodes for Li-ion batteries TN298
Li イオン二次電池(X線回折法(XRD)による正極活物質の構造解析) Cristallization analysis of the cathode material for Li-ion batteries by XRD TN295
Li イオン二次電池(CP加工-FE-EPMAによる電極断面の観察) Observation of the cross section of electrodes for Li-ion batteries by FE-EPMA TN294
Li イオン二次電池(CP加工-FE-SEMによる電極断面の観察) Observation of the cross section of electrodes for Li-ion batteries by FE-SEM TN293
Li イオン二次電池(X線マイクロCTによる非破壊観察) Nondestructive observation of Li-ion batteries by X-ray CT TN292
Li イオン二次電池(分析法概要) Outline of analysis methods for Li-ion batteries TN291
5軸ステージを活用したTOF-SIMS分析 TOF-SIMS Analysis Using Five-Axis Stage TN289
TOF-SIMSによる広領域マッピング Wide Area Mapping by Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry(TOF-SIMS) TN288
FIB-AESによるLSIチップの断面分析 The section analysis of the LSI chip by FIB-AES TN287
オージェ電子分光法 Auger Electron Spectroscopy TN284
温度加速による寿命予測 Life estimation by temperature acceleration. TN252
温湿度加速による寿命予測 Life estimation by temperature and humidity acceleration. TN251
ミニエンバイロメントの評価技術 -ウェーハ付着有機物(FOSBの開閉及び保管試験)- TN203
高分解能誘導結合プラズマ質量分析法によるシリコンウェーハ表層酸化膜中のりん分析 Phosphorus Analysis of Oxide Film on Silicon Wafer Surface by High Resolution Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry(HR-ICP-MS) TN192
非Si系薄膜中の金属不純物分析 Chemical Analysis of Metallic Impurities in High Performance Thin Films on Silicon Wafer TN187
SIMSによる低ドーズ量イオン注入の高精度評価 TN186
Backside SIMSの技術紹介 TN180
シリコンウェーハ表面への酸/塩基成分の付着挙動 Sticking Behavior of Acidic and Basic Compounds onto Silicon Wafer Surface TN177
シリコンウェーハ表面の酸/塩基不純物分析 Chemical Analysis of Ionic Contaminants on Silicon Wafer Surface New
TN176
TOF-SIMSによるCu-CMP後洗浄したウェーハ表面評価 Surface analysis of wafers after post Cu-CMP cleaning by Time of Flight Secondary Ion Mass Spectrometry (TOF-SIMS) TN165
XPSによるCu-CMP後洗浄したウェーハ表面評価 Surface analysis of wafer after post Cu-CMP cleaning by X-ray Photoelectron Spectroscopy(XPS) TN148
昇温脱離ガス分析法の応用 Characterization of VLSI materials using Thermal desorption spectroscopy(TDS) TN094
原子間力顕微鏡(AFM)のご紹介 Introduction of Atomic Force Microscope (AFM) TN053
BPSGおよびPSG膜の化学分析 Chemical analysis of boro-phospho silicate and phospho silicate glasses TN043
シリコンウェーハ表層の金属不純物分析 Chemical Analysis of Metallic Impurities on Silicon Wafer Surface TN042
XPSによる酸化膜厚の測定 Oxide Thickness Determination by X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) TN033
ポリイミド膜ウェーハのC・H・N元素分析 Determination of C,H,N in Polyimide Film Coated on Silicon Wafer TN032
顕微FT-IRによるウェーハ上付着物の分析 Characterization of Fine Substance on Silicon Wafer with Fourier Transform Infrared Microspectrometry(m-FT-IR) TN028

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電子部品評価

タイトル 整理番号
密閉空間内のガス分析 Analysis of Gases Confined in Sealed Space TN425
放熱材料の熱伝導率測定 Determination of thermal conductivity of heat radiation materials TN373
表面実装部品のはんだ継手せん断強度試験方法 Method for measuring shear strength of solder joints on surface mount device TN330
TMAによる線膨張率測定 Determination of coefficient of linear thermal expansion by TMA TN325
冷熱衝撃試験 Thermal Shock Test TN317
オージェ電子分光法によるSUSの深さ方向分析 Depth profiling of SUS by Auger Electron Spectroscopy TN286
Py-GC/MS及びEGA-MS法による加熱発生ガス分析 Evolved Gas Analysis by Py-GC/MS and EGA-MS Method TN247
HDD関連材料の汚染評価技術 Analysis and Evaluation of Contamination of Hard Disk Drive Materials and Components TN188
極薄酸窒化ゲート絶縁膜の評価 TN184
四重極型2次イオン質量分析装置の紹介 Introduction of Quadrupole SIMS TN183
クリーンルーム構成材料から発生するアミン類のCE/MS分析 Evaluation of amines emitted from clean room constituent materials by CE/MS TN178
半導体材料のアウトガス分析 Analysis of outgas released from LSI materials TN095
昇温脱離ガス分析法の応用 Characterization of VLSI materials using Thermal desorption spectroscopy(TDS) TN094
純水中の微量アニオン・カチオン分析 Analysis of Trace Ions in Pure Water TN087
電子工業用薬品中の微量貴金属不純物定量法 Analysis of Inorganic Impurities in Chemicals for Semiconductor Manufacturing TN066
半導体用高純度ガス中の極微量金属の定量分析 Analysis of Metallic Impurities in Purified Gases for Semiconductor Manufacturing TN065
グロー放電質量分析法(GD-MS) Glow Discharge Mass Spectrometry TN061
ICP-MS分析法による超微量元素分析 Determination of Ultra Trace Impurities using Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry (ICP-MS) TN051
黒鉛中微量元素の定量 Analysis of Inorganic Impurities in Graphite TN027
半導体構成材料のアルファ線の測定 Measurement ofα-particles in semiconductor constituent materials TN026
ICP-AESによる微量分析 Analysis of Trace Inorganic Compounds Using Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometry(ICP-AES) TN023

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表示デバイス評価

タイトル 整理番号
クーロメトリック法による酸素透過度測定 Measurement of Oxygen Transmission Rate by Coulometric Method TN420
差圧法による水蒸気透過度測定 Measurement of Water Vapor Transmission Rate by Difference Pressure Method TN417
GC/TOF-MSを用いた液晶の構造解析 Structural analysis of liquid crystal compounds using gas chromatography / time of flight mass spectrometry TN331
電解脱離質量分析法 Field Desorption Mass Spectrometry(FD-MS) TN169
半導体材料のアウトガス分析 Analysis of outgas released from LSI materials TN095
液晶ディスプレイ [ マイクロマニピュレータによる異物の解析] Diagnosis for LCD unevenness
-Determination of foreign particle using micromanipulator-
TN075
液晶ディスプレイ(XPSによる配向膜の分析) Study of inferiority of liquid crystal displays
-Analysis of polyimide alignment film by XPS-
TN073
液晶ディスプレイ劣化解析(TOF-SIMS法による配向膜の解析) Study of Inferiority of Liquid Crystal Displays
-Analysis of Polyimide Alignment Film by TOF-SIMS-
TN072
液晶組成物の構造解析 Structure analysis of liquid crystal compounds TN070

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電子工業用原材料評価

タイトル 整理番号
固体・粉体の炭素・硫黄定量分析(燃焼-赤外線吸収法) Determination of Carbon and Sulfur Content in Solid and Powder Sample
- Infrared Absorption Method after Combustion -
New
TN480
高感度燃焼法によるハロゲン・硫黄の超低濃度(ppbレベル)評価 Analysis of Halogens and Sulfur (ppb levels) by Combustion Ion Chromatography New
TN470
GC/TOF-MSを用いた液晶の構造解析 Structural analysis of liquid crystal compounds using gas chromatography / time of flight mass spectrometry TN331
オージェ電子分光法によるSUSの深さ方向分析 Depth profiling of SUS by Auger Electron Spectroscopy TN286
包装材料などの水蒸気透過度測定 Water Vapor Permeability Test of packaging foils and films TN243
純水中の微量アニオン・カチオン分析 Analysis of Trace Ions in Pure Water TN087
電子工業用薬品中の微量貴金属不純物定量法 Analysis of Inorganic Impurities in Chemicals for Semiconductor Manufacturing TN066
半導体用高純度ガス中の極微量金属の定量分析 Analysis of Metallic Impurities in Purified Gases for Semiconductor Manufacturing TN065
グロー放電質量分析法(GD-MS) Glow Discharge Mass Spectrometry TN061
ICP-MS分析法による超微量元素分析 Determination of Ultra Trace Impurities using Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry (ICP-MS) TN051
高純度石英中の不純物の定量分析 Determination of Inorganic Impurities in Highly Purified Quartz TN050
ファインセラミックス中の不純物の定量分析 Determination of impurities in fine ceramics TN049
半導体構成材料のアルファ線の測定 Measurement of α-particles in semiconductor constituent materials TN026

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エネルギーデバイス

タイトル 整理番号
Liイオン二次電池評価(SPMによる電極内導電パス評価法) Evaluation of Conductive Network in the Electrode of Li-ion Battery by SPM New
TN472
電極材料中のバインダー成分の深さ方向における分布評価 Distribution evaluation for the depth direction of Binder component in electrode material New
TN471
Liイオン二次電池 内部ガスのオンライン分析 Online Analysis of Generated Gases in Lithium-Ion Secondary Batteries TN469
冷却FIB法を用いた有機半導体材料の結晶性評価 Crystalline Evaluation of Organic Semiconductors by TEM using Cryo-FIB Method TN452
Liイオン電池 (電極反応分布のin situ断面観察) ―Ⅲ. 安全性向上へ向けたLiデンドライト発生過程の解析― Analysis of Li Dendrite Deposition Process toward SafetyImprovement of Li-ion Batteries TN424
Liイオン二次電池 (電極反応分布のin situ断面観察) ―Ⅱ. 電極内Liイオン拡散の直接観察― Direct Observation of Lithium Ion Diffusion in Electrode for Li-ion Batteries TN423
Liイオン二次電池 (電極反応分布のin situ断面観察) ―Ⅰ. 充放電による電極色変化のリアルタイム観察― Real-Time Observation of Chromatic Transition of Li-ion Battery Electrode Induced by Charge/Discharge Reaction TN422
Liイオン二次電池(EPMAによるCo系正極バインダーの分布状態観察) Observation of Binder Distribution in Cathode for Li-ion batteries by EPMA TN418
電子顕微鏡による有機半導体の積層構造評価 Evaluation of Layered Structure of Organic Semiconductors by Electron Microscope TN409
バルクヘテロ接合型有機薄膜太陽電池の電子顕微鏡観察 Electron Microscope Observations of Bulk-Hetero Junction Organic Solar Cells TN403
高分子材料の光、酸化、熱劣化評価~UV-Py-GC/MS~ UV-Py-GC/MS Evaluation of Deterioration in Polymers due to UV, Oxidation and Heat TN349
シリコン系太陽電池材料中の金属不純物分析 Determination of Metallic Impurities in Silicon Solar Cell TN348
太陽電池用シリコン最表面の微量成分分析 Determination of Trace Impurities on Silicon Surface in Solar Cell TN347
太陽電池用封止樹脂の劣化評価 Evaluation of Degradation of Polymer Encapsulants in Photovoltaic Cell TN346
薄膜シリコン系太陽電池セルの評価 Evaluation of thin film silicon solar cell TN345
大型放射光施設を利用した各種分析試験 Various analysis examinations using the large synchrotron radiation facilyty TN312
燃料電池用・炭化水素系高分子電解質膜の劣化解析 Analysis of Deterioration of Hydrocarbon Polymer Electrolyte Film TN311
CP加工-FE-EPMAによる燃料電池用MEA断面の観察 Observation of the cross section of MEA for fuel cells by FE-EPMA TN310
X線マイクロCTによる燃料電池用MEAの層構造観察 Observation of the cross section of MEA for fuel cells by X-ray CT TN309
燃料電池の分析法概要 Outline of analysis methods for fuel cells TN308
Li イオン二次電池(熱分析による負極活物質の同定) Thermal analysis of the anode material for Li-ion batteries TN303
Li イオン二次電池(熱分析(DSC)によるセパレータの定性分析) Thermal analysis of the separator film for Li-ion batteries TN302
Liイオン二次電池(ICP-AESおよびICP-MSによる負極合剤の分析) Analysis of the anode material for Li-ion batteries by ICP-AES and ICP-MS TN301
Li イオン二次電池(ICP/AESによる正極活物質の組成分析) Composition analysis of the cathode material for Li-ion batteries by ICP/AES TN300
Li イオン二次電池(電解液用溶媒の組成分析) Composition analysis of the electrolyte solution for Li-ion batteries TN299
Li イオン二次電池(電極バインダ樹脂の分析) Composition analysis of the binder resin in electrodes for Li-ion batteries TN298
Li イオン二次電池(X線回折法(XRD)による正極活物質の構造解析) Cristallization analysis of the cathode material for Li-ion batteries by XRD TN295
Li イオン二次電池(CP加工-FE-EPMAによる電極断面の観察) Observation of the cross section of electrodes for Li-ion batteries by FE-EPMA TN294
Li イオン二次電池(CP加工-FE-SEMによる電極断面の観察) Observation of the cross section of electrodes for Li-ion batteries by FE-SEM TN293
Li イオン二次電池(X線マイクロCTによる非破壊観察) Nondestructive observation of Li-ion batteries by X-ray CT TN292
Li イオン二次電池(分析法概要) Outline of analysis methods for Li-ion batteries TN291

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アウトガス試験評価

タイトル 整理番号
TOF-SIMSによるアウトガス汚染評価 Evaluation of Contamination from Outgassing by Time-of-Flight Secondary Ion Mass Spectrometry (TOF-SIMS) TN408
自動車部品から発生する揮発性有機化合物放散測定法 Measurement method of volatile organic compounds (VOC) diffused from automotive parts New
TN342
アウトガス評価 -放散試験チャンバー法及び加熱加速試験法- Outgas Evaluation by Emission Chamber Method and Heat Accelerated Method New
TN341
複写機・プリンターなどの画像機器から放散される化学物質の評価 Evaluation of Chemical Emissions from Imaging Equipment such as Copiers and Printers New
TN340
Py-GC/MS及びEGA-MS法による加熱発生ガス分析 Evolved Gas Analysis by Py-GC/MS and EGA-MS Method TN247
半導体材料のアウトガス分析 Analysis of outgas released from LSI materials TN095
昇温脱離ガス分析法の応用 Characterization of VLSI materials using Thermal desorption spectroscopy(TDS) TN094

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環境負荷物質評価

タイトル 整理番号
アゾ染料・顔料より生成する特定アミン類の定量分析 Determination of specific aromatic amines derived from azo dyes and pigments TN351
改訂版欧州RoHS指令案 優先評価物質の定量分析 Determination of substances for priority assessment listed in the proposal for the revised RoHS Directive New
TN322

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信頼性評価試験

タイトル 整理番号
冷熱衝撃試験 Thermal Shock Test TN317
温度加速による寿命予測 Life estimation by temperature acceleration. TN252
温湿度加速による寿命予測 Life estimation by temperature and humidity acceleration. TN251

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